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槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備

簡要描述:v應(yīng)用領(lǐng)域:RCA清洗

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

306
詳細(xì)介紹

v 應(yīng)用領(lǐng)域:RCA清洗,濕法去膠,介質(zhì)層濕法刻蝕,金屬層濕法刻蝕,爐管前清洗等

v 晶圓尺寸:100mm~300mm

v 設(shè)備配置:

? 支持化學(xué)液C.C.S.S.L.C.S.S

? Marangoni dry spin dry

? 自動換酸,自動補(bǔ)液、配液

? 加熱控制,濃度控制,流量控制,壓力控制等

? 槽體過溫保護(hù),各單元配置漏液傳感器

? 支持化學(xué)液回收

? 全面支持SECS/GEM通訊協(xié)議

v 工藝指標(biāo):蝕刻非均勻性片內(nèi):4%;片間:≤4%;批次間: ≤4%;

v 顆??刂疲涸黾又?/span><30@0.09μm(帶氧化硅膜測試,來料顆粒<50顆)

v 金屬離子:<5E9 atoms/cm2


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