產(chǎn)品型號(hào)
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產(chǎn)品分類(lèi)
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Nikon S203B
1.Nikon S203B掃描式光刻機(jī)
光源波長(zhǎng)248nm
分辨率優(yōu)于0.2µm
主要用于4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線(xiàn)
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.2µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
曝光現(xiàn)場(chǎng)25mm*33mm
對(duì)準(zhǔn)精度
LSA：45nm
FIA：50nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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