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Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)

簡要描述：NikonNSR2005i10C1

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

Nikon NSR 2005i10C

1.Nikon NSR 2005i10C步進(jìn)式光刻機(jī)

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.45µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標(biāo)

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場20mm*20mm

對(duì)準(zhǔn)精度

LSA：100nm

FIA：110nm

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